准教授 黒田 理人 Rihito Kuroda

実践技術経営融合講座
技術適応計画分野
研究室サイト: http://www.sgw.most.tohoku.ac.jp/
石田 修一←黒田 理人→杉田 典大

_MGM6306実社会で使われる製品を前提とした革新的な技術の研究・開発に挑む

○若き熱血先生ここにあり

須川教授の右腕として、主にイメージセンサ開発研究のプロセス分野を担当している黒田准教授は、2010年に本システム専攻博士課程を修了しました。学生と同じ目線で指導したいと、与えられた准教授室は使わず、いつも学生のいる研究室に入り浸っているため、学生たちからは熱血先生と慕われています。

○須川・黒田研究室のミッション

デジタル画像技術は、映像の世界を劇的に変革しました。特に、本研究室の須川教授が開発したCMOSセンサは、イメージングの可能性を大きく広げる画期的な技術でした。

本研究室では、高性能イメージセンサの開発を核として、さらなる高性能化を図る新しい技術の開発から製造装置ならびに生産ラインの設計など、開発した技術の実用化までを一貫して行う総合的な技術戦略マネジメント能力を有する人材育成を目標に掲げ、教育・指導を行っています。

黒田准教授は、主に半導体集積回路やイメージセンサの製造技術開発、回路設計、シリコンウエハーの製造、測定評価などを指導しています。主な研究内容としては、従来1nm程度のシリコンウエハー表面を0.135nmまで原子レベルに平坦化するための製造技術の確立およびそれを用いた高精度のデバイスの開発、集積回路に実装された100万個のトランジスタを1秒以内で測定する解析法などで、こうした技術はすでに多くのメーカーの製造ラインに導入されています。

ここにあげた例は、ウエハー製造のさらなる高精度化を図る技術であり、イメージセンサの技術開発に不可欠な技術でもあります。本研究室では、社会で実用化されることを前提とした革新的な技術開発に力点を置いて、製品化プロセスにおいて不可欠な総合的知識と技能を習得することができます。